1. Задание.
1.1. Имеется МОП-транзистор с индуцированным каналом на кремневой под-ложке.
В курсовой работе необходимо выполнить:
1) Построение вольтфарадной характеристики МОП-структуры.
2) Построение стоковой и стоко-затворной характеристики.
3) Определение напряжения и тока насыщения и напряжения отсечки.
4) Нахождение крутизны стоко-затворной характеристики и проводимости канала.
1.2. Исходные данные:
1) концентрация примеси N=3,5*1015 См-2;
2) тип подожки n;
3) ширина канала Z=5,8 мкм;
4) толщина канала L=1,1 мкм;
5) толщина оксидного слоя Xокс=0,15 мкм;
6) плотность заряда Qss=8*10-8 Кл/м2;
7) поверхностный заряд на границе Qss=1,6*10-8 Кл/см2.
1.3. Дополнительно будут использоваться следующие справочные данные:
1) тепловой потенциал;
2) собственная концентрация носителей в кремнии ni=1,5*1010см-3;
3) диэлектрическая проницаемость кремния Еап=1,062*10-12 Ф/см;
4) диэлектрическая проницаемость оксида Еок=3,54*10-13 Ф/см;
5) заряд электрона q=1,6*10-19 Кл;
6) работа выхода электрона для алюминия Фм=4,1 эВ;
7) энергия сродства электрона для кремния Х=4,05 эВ;
8) ширина запрещённой зоны для кремния Еg=1,124 эВ.
1.4. Допущения:
1) металл – идеальный проводник;
2) оксидный слой – идеальный диэлектрик, заряды внутри слоя отсутству-ют;
3) в расчёте будем пренебрегать поверхностными явлениями на границах металл-оксид и оксид-полупроводник;
4) полупроводник считается идеальным и однородным.
2. Расчётная часть.
2.1. Построение вольтфарадной характеристики МОП-структуры.
2.2. Построение стоковой и стоко-затворной характеристики.
2.3. Нахождение крутизны стоко-затворной характеристики и проводимости канала.
2.4. Определение напряжения и тока насыщения и напряжения отсечки.
3. Заключение.
Список литературы.
Введение
нет
Литература
1. Л.Рассадо “Физическая электроника и микроэлектроника”, М. Высшая школа, 1991г.
2. Маллер Д.Б. “Элементы интегральных схем”.
3. Агарханян O.П. “Основы транзисторной электроники”.
4. И.П. Степаненко “Основы транзисторов и транзисторных схем”, М., Энергия, 1973г.